產(chǎn)品標準:GB/T 8979-2008
項 目 | 指 標 | ||
高純氮 | |||
氮氣(N2)純度(體積分數(shù))/10-2 ≥ | 99.999 | ||
氧(O2)含量(體積分數(shù))/10-6 ≤ | 3 | ||
氬(Ar)含量(體積分數(shù))/10-6 ≤ | — | ||
氫(H2)含量(體積分數(shù))/10-6 ≤ | 1 | ||
一氧化碳(CO)含量(體積分數(shù))/10-6 ≤ | 1 | ||
二氧化碳(CO2)含量(體積分數(shù))/10-6 ≤ | 1 | ||
甲烷(CH4)含量(體積分數(shù))/10-6 ≤ | 1 | ||
水(H2O)含量(體積分數(shù))/10-6 ≤ | 3 |